ساخت دستگاههای پلاسما فوکوس و لایه نشانی توسط آقای دکتر اسلام قره شعبانی

دستگاه لایه نشانی Pulsed Magnetron Sputtering دو اینچی با امکان لایه نشانی مواد فلزی و سرامیکی با توان 600 وات و فرکانس 20-0 کیلو هرتز  با تلاش سرکار خانم سمیرا نصیری دانشجوی دکتری فیزیک پلاسما و با هـدایت راهنـمایی جناب آقای دکتـر اسـلام قـره شعبانی طراحی و ساخته شد.

همچنین ایشان در سال 1391   دستگاه پلاسما فوکوس را طراحی و ساخته شد.